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    ALI/ALID
    
                    
    高精度：多重軟件分析法，多種應用模式，高精度運動系統；
高效率：一臺維修工作站確認多臺在線機的檢測數據，實現全自動化制程管控；
    
                
    
            
    
        
    
        
    
            
    
                產品應用
                功能特點
                性能參數
            
    
            
    
	高精度
    
	多重軟件分析法，多種應用模式，高精度運動系統；
    

    
	高效率
    
	一臺維修工作站確認多臺在線機的檢測數據，實現全自動化制程管控
    
	 
    

    
            
    
            
    
		
    
    
    
    
    
        
    
            
    
                
    
                
    
                
    
                    
                
    
            
    
        
    
    
    

    
  
    
    
  
    

    

    
  
    
    
    
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